氧化銦錫膜是一種性能優良的透明導電材料，它對太陽光譜的可見光范圍透明，對紅外光有較強的反射，而且又有低的電阻率氧化硅薄膜，并與玻璃有較強的附著力，良好的耐磨性及化學穩定性。因此它是一種比比較理想的能效材料及優良的透明電極材料。

ITO主要用于制作液晶顯示器、平板顯示器、等離子顯示器、觸摸屏、電子紙等應用、有機發光二極管、以及太陽能電池、和抗靜電鍍膜還有EMI屏蔽的透明傳導鍍膜。

ITO也被用于各種光學鍍膜，最值得注意的有建筑學中紅外線-反射鍍膜(熱鏡)、汽車、還有鈉蒸汽燈玻璃等。別的應用包括氣體傳感器、抗反射膜、和用于VCSEL激光器的布拉格反射器。

目前制備ITO膜的主要有蒸發，熱噴涂及濺射沉積等。In2O3是一種直接躍遷寬禁帶半導體材料，摻Sn之后構成的In2O3：Sn n型半導體的禁帶寬度比純In2O3加寬了，摻雜的濃度直接影響膜的光學性能及電學性能。

ITO薄膜應力規可以在高于1400℃及嚴酷的環境中是用，例如氣體渦輪、噴氣引擎、還有火箭引擎。

ITO膜層的主要成份是氧化銦錫。在厚度只有幾千埃的情況下，氧化銦透過率高，氧化錫導電能力強，液晶顯示器所用的ITO玻璃正是一種具有高透過率的導電玻璃。由于ITO具有很強的吸水性，所以會吸收空氣中的水份和二氧化碳并產生化學反應而變質，俗稱“霉變”，因此在存放時要防潮。

ITO層在活性正價離子溶液中易產生離子置換反應，形成其它導電和透過率不佳的反應物質，所以在加工過程中氧化硅薄膜，盡量避免長時間放在活性正價離子溶液中。ITO層由很多細小的晶粒組成，晶粒在加溫過程中會裂變變小，從而增加更多晶界，電子突破晶界時會損耗一定的能量，所以ITO導電玻璃的ITO層在600度以下會隨著溫度的升高，電阻也增大。